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旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。
喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程，减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均匀，同时，接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的，这样就可以做到通过工艺时间设置，控制硅片的清洗腐蚀效果，实现很好的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，在使用时到达喷口之前才混合，使其保持鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，至硅片表面达到更好的清洗目的。
（1）依据要高压喷淋清洗机工件的污垢详细特性
在设计一个清洗工艺时，首先要对污垢的性质、数量以及在清洗外表附着的状况停止理解。通常的清洗工艺和设备都是针对特定的污垢而设计的，普通是先用经济的办法将大局部污垢除去，然后用其他的办法对残留的污垢停止处置，用分步停止的办法组成一个清洗工艺。
（2）对高压喷淋清洗机洗净水平的请求
在选择清洗工艺及设备时，思索清洗请求到达的喷淋洗净水平。对不同洗净水平请求的清洗应选择不同的清洗工艺和设备。洗净水平请求越高，清洗本钱也越高 ，而且消费本钱是以几何级数递增的。
通过式清洗机的结构组成是怎样的呢？事实上，该设备整体包括有很多个系统，分别有机体及加热与温控系统、过滤系统、输送系统、喷淋系统、吹干系统、电气控制系统等组成。其机体主要是由机架、罩壳及水箱组成。整机结构紧凑，外型美观大方，功能齐全。们针对几个比较重要的部件进行简单的介绍，希望能够加深大家的理解。首先通过式清洗机的机体主要是由型钢焊接组合而成。
提升喷头的出入口高压水射流速率一方面要配备适合直径的喷头，确保清洗机工作压力和总流量的充分运用，二是要尽量避免高压胶管的摩擦阻力损害，盘绕损害、连接头损害等。此外在清洗全过程中也要留意靶距和水射流冲击性角，这对清洗实际效果和也会造成危害。高压清洗机做为一种新式的清理清洗的工具，在大家的生活起居和工业化生产中获得了普遍的运用，高压清洗机的清洗因素有污垢特性、物质、工作物和清洗工作压力这四个层面。
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